沈阳富创承担的“基于焊接和表面涂覆技术的大型铝件制造技术开发”项目，已得到国家“十二五”02重大专项支持。“这一技术突破，使我们在半导体装备，包括极大规模集成电路装备的零部件加工能力达到国际领先水平。该技术还可拓展到航空、航天、航海等领域。”企业相关负责人介绍。同时，中科仪、沈阳新松也获得千万元以上国家重大专项资金支持。
沈阳市科技局相关负责人介绍，沈阳将大力推进机器人、ic装备等产业发展，把沈阳打造成以机器人为核心的高端装备制造产业基地。
今年，沈阳新松开展了智能型工业机器人应用研究，将力控制技术和视觉技术在机器人平台上进行集成应用，开发了研磨抛光工业机器人，主要应用于卫浴五金行业；视觉分拣机器人，可广泛应用于食品等行业；精密装配机器人，可应用于家电电子等行业。“在ic装备机器人方面，我们也进行了集成传输平台的研制。”新松相关负责人说。
在IC装备产业方面，沈阳是中国具有较高影响力、较强产业优势的城市之一。仅今年上半年，沈阳ic装备企业就实现产值12亿元，同比增长11.6%，实现营业收入8.7亿元，同比增长11.5%，实现利润8500万元，上缴税金1600万元。
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